円筒座標ロボットを導入するときに同時に導入したい周辺機器

円筒座標ロボットを導入する際、同時に導入したい周辺機器について紹介します。

洗浄装置
洗浄装置は、半導体ウェーハの加工に影響を与えないよう、研磨と洗浄・乾燥を行う装置です。


傷やパーティクルの存在は歩留まりに与える影響が大きいため、半導体製造工程の3割を占める重要な工程で、不純物の除去だけでなく乾燥タイミングにもノウハウが詰まっています。

成膜装置
半導体ウェーハへの酸化膜・窒化膜生成や、絶縁膜・電極層などを生成するのに必要となるのが成膜装置です。

高精度な成膜が可能なCVD装置が主に使用されています。


アライナー
アライナーは、紫外線光を用い、マスクの形状に合わせたパターンを正確に転写する露光装置です。

同様の機能を持ち、より微細なパターンを形成できるステッパーという装置もあります。

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